Bedampfungstechnik

Bedampfungstechnik
Bedampfungstechnik,
 
Aufdampftechnik, Vakuumbedampfung, Gesamtheit der v. a. in der metallurgischen, optischen und elektronischen Industrie verwendeten, unter Hochvakuumbedingungen durchgeführten technischen Verfahren zum Aufbringen (Aufdampfen, Bedampfen) dünner Schichten (Dicke meist weniger als 1 μm) auf vorgegebene Objekte, Substrate oder Trägermaterialien. Die dazu dienenden Bedampfungsanlagen (Aufdampfanlagen) bestehen im Wesentlichen aus einer Vakuumapparatur, in deren Rezipienten das aufzudampfende Material (z. B. bestimmte Metalle, Siliciumdioxid, Titanoxide, Magnesiumfluorid) von einer Aufheizvorrichtung zum Verdampfen gebracht wird. Bei Drücken von 100 bis 0,01 nbar breitet sich der Dampf geradlinig nach allen Seiten hin aus und schlägt sich auf dem günstig im Dampfstrom angeordneten Substrat nieder. Durch Masken kann eine geometrische Strukturierung der Schicht erzielt werden (z. B. in der Dünnschichttechnik).

Universal-Lexikon. 2012.

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